分体式臭氧发生器系统的构成
臭氧发生装置大致由原料气体供给装置、臭氧发生器、功率调整器、冷却水设备所构成。
空气源
臭氧发生器系统是指以空气为原料，经过多道工艺干燥处理后的空气送入臭氧合成系统产生臭氧的装置。
压缩机 → 贮气罐 → 过滤器 → 冷干机 → 干燥机 → 臭氧合成
技术指标：空气露点 -45 ℃ 粉尘 >0.01ppm
图1是以空气为原料臭氧发生器装置的构成。
臭氧发生器富氧源系统（ ups ）是指空气经过压缩干燥处理后，经（ VPS ）富氧受压吸附产量一定纯度的氧气送入臭氧合成系统的装置。
压缩机 → 贮气罐 → 过滤器 → 冷干机 → 富氧机 → 臭氧合成
技术指标：气源露点＜ -50 ℃ 氧气纯度 60%--90% 粉尘 >0.01ppm
图2是以氧气为原料臭氧发生器装置的构成。
（一）空气气体供给装置
空气气体供给装置由空气压缩机、空气冷却装置、除湿装置所构成。空气的露点温度大致要求在-60℃以下的干燥度。另可根据空气量采用吸附式除湿装置的方式。
（1）空气压缩机
用作压送原料空气。小型装置（臭氧发生量在1kg/h以下）因使用加压再生式除湿装置，故用往复式或螺旋式无油润滑压缩机，将空气压缩至0.8MPa左右。大容量设备（臭氧发生量在1kg/h以上）使用的是低压加热再生式除湿装置，故会使用罗茨鼓风机，其压力为0.1MPa左右。
（2）空气冷却装置
用空气压缩机压缩的空气需要进行冷却，故会使用冷冻式干燥机或水冷式后冷却器。空气压缩机为罗茨鼓风机时，压缩空气温度会超过100℃，因此须将水冷式热交换器及冷冻式热交换器一并使用。
（3）除湿装置
除湿装置即让冷却的空气通过铝凝胶或沸石，将水分吸附去除。除湿装置有几个吸附塔，可相互进行吸附与再生，从而可连续获得干燥空气。按吸附剂性能，有加压吸附再低压解吸的压力再生方式和低压吸附再加热解吸的方式。一般前者适用小容量，后者适用大容量。
（二）氧气供给装置
氧气供给装置有氧气瓶、液氧和制氧装置。
（1）氧气瓶
是压缩充填工业用精制氧气的储气瓶。设备简单，用于实验用等小型装置。
（2）液氧（LOX）事先储存的液氧，需要时可通过气化器获得氧气。
（3）PSA制氧装置
是一种浓缩空气中氧的装置，用吸附剂吸附氮，从而获得90%以上的氧。此装置可分为0.5MPa左右加压下吸附和在低压下吸附再用真空泵减压再生的装置，前者适合小容量，后者适合大容量。
（三）臭氧发生器
臭氧发生器即设置放电电极的容器。电极的冷却有空冷式与水冷式，除部分小型机种外，大部分是水冷式。
（四）电源装置
即产生适于放电电压与频率的装置，多数是由逆变器与升压变压器组成。可通过改变电压、频率，来调整注入电极之功率，以增减臭氧发生量。
（五）冷却装置
为臭氧发生器或辅机类供给冷却水的设备。小型装置也有单程式冷却，但大多是循环式冷却。如用循环式则通过热交换机由冷却塔、冷风装置或处理水进行热交换。
3S-FS分体臭氧发生器
